潔凈室,亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
不同行業的潔凈室有著不同的區別,例如工業潔凈室與生物潔凈室:
工業潔凈室
工業潔凈室無生命的粒子控制的對象。潔凈棚主要控制空氣塵粒污染的工作對象,通常內保持正壓。適用于精密機械工業、電子工業、半導體、集成電路、等)航空航天工業、高純度磁產品,原子能工業、化工、輕工業(CD、磁帶、電影制作),LCD(液晶玻璃),計算機硬盤磁頭生產等行業。
生物潔凈室
生物潔凈室主要控制生活粒子(細菌)和非生物粒子的污染(塵埃)工作對象。,可分為:1、一般生物潔凈室:主要污染控制微生物(細菌)對象。同時其內部材料需要能夠承受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。本質上其內部材料可以忍受各種各樣的滅菌處理工業潔凈室。例子:制藥行業,醫院手術室、無菌病房)食品,化妝品,飲料生產、動物實驗室、理化檢查房間,血站等。2、生物安全潔凈室:微粒污染的主要控制對象與外部世界和人類的生活。內部維護和負壓的氣氛。例子:細菌學實驗室、物理工程、生物學。
兩個潔凈室的區別如下