半導體產業

雖然半導體在硅谷衰落，但“亞洲制造”的力量不容小覷，半導體在亞洲地區成為了重要產業。近年來中國半導體產業快速發展，其銷售額甚至超越了全球和美國的平均水平，占據了全球半導體產業的三分之一。不過相比于高額的銷售量，大量進口的半導體材料折射出了國內在半導體材料產業的弱勢。

半導體材料產業處于集成電路制造環節的上游，材料的質量直接影響集成電路產品質量。作為半導體產業中規模最大的產品，集成電路生產工藝極為精細和復雜，任何一步發生錯誤都會造成器件失效。因此，針對以精細著稱的半導體產品，質量檢測離不開更為精細化、智能化的儀器設備。為了更好地滿足半導體行業用戶對產品質量檢測的需求，上海西努光學科技有限公司秉持著“以光學為核心，為客戶提供解決方案”的經驗思路，特此引進并向用戶推出奧林巴斯新一代半導體MX63和MX63L工業檢測顯微鏡。

MX63系列工業檢測顯微鏡

憑借功能性、人性化、先進成像技術以及模塊化四大特色，MX63和MX63L工業檢測顯微鏡能夠幫助用戶觀察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷，及時發現產品問題所在并予以解決。

一、功能性：先進的分析工具

1、MIX+Stream不再“霧里看花”

從最基本的功能性來說，MX63系列絕對是一款先進的分析工具，能夠滿足行業用戶對樣品進行可靠的缺陷檢測。借助全新照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項，用戶在評估樣品和存檔檢測結果時將會有更多選擇。

以半導體產業最重要的根基——晶圓為例，傳統顯微鏡在觀察時會由于功能不足，明場條件下難以觀察到清晰的集成電路圖形，暗場又看不見晶圓的顏色。 為了保證質量，檢測過程中還會檢查晶圓中殘留的光致抗蝕劑等污染物。傳統顯微鏡熒光條件下可以觀察到殘留物，但卻看不見樣品本身;暗場條件下看見了樣品，殘留物又看不清晰了。為了保證在明場與暗場、熒光或偏光各種條件下，都能得到想要的觀察圖像，MX63系列采用MIX觀察技術，幫助用戶不再“霧里看花”。

MIX觀察技術

通過顯微鏡觀察到之后又想生成圖像怎么辦?MX63系列先進的圖像采集技術開發出多種功能，幫助用戶輕松生成需求的圖像。譬如多圖拼接(MIA)功能，用戶只需移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接。再利用Stream軟件的圖案識別功能最終生成全景圖像，從而獲得更寬的視場。如果想獲得攝影作品那般的景深效果又該如何?Stream軟件的擴展聚焦成像(EFI)功能就可以滿足。

此外，專業級報告對圖像的視覺品質有要求。圖像上的眩光問題想必困擾了不少用戶，M63系列的高動態范圍(HDR)功能就可以調整亮度差異從而解決這一影響畫質的問題。體現出該系列顯微鏡與其他同類產品相比，精益求精的高端之處。

2、Stream最大限度減輕用戶工作負擔

靠肉眼觀察無法確定產品質量是否合格，用數據說話才能真正保質保量。Stream軟件同樣包括交互測量功能，可滿足電路板圖形之間距離等基本數據測量。為了縮短測量過程中大量重復性任務的處理時間，Stream還推出了材料解決方案，可為復雜圖像分析提供直觀的工作流界面，用戶只要點擊按鈕就能快速精準完成圖像分析任務。

測量技術

采集完圖像并得到了測量結果，就該寫讓人頭痛的復雜報告了。對此，Stream軟件也能為用戶辦到。除了提供模板，簡化編輯方式，軟件還可以自動導出大小適中、便于郵件傳輸的MicrosoftWord或PowerPoint文件，真正讓用戶體驗到了“輕辦公”。此外，使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63是一套獨立系統，所以采集圖像和基本測量工作都可以在幾乎不占空間的條件下完成。如此一來，實驗室空間得到了充分利用，用戶的工作環境也變得更為舒適。

3、專為潔凈室工作而設計

實驗室內工作最害怕什么?樣品污染或者受損!這將導致前期為樣品準備的一切工作付諸流水。MX63系列在考慮到這一點的同時，加入了人體工學設計，保證用戶在長時間使用中既能保證舒適，還能保證樣品不受污染。以下四大功能真正讓用戶的雙手遠離了樣品。

①選配晶圓自動搬送機 — AL120系統*：“懶人”福音

這款搬運機與顯微鏡相結合使用，可以安全地將硅及復合半導體晶圓從晶圓匣運送到顯微鏡載物臺上。從此操作人員再也不必使用鑷子或者其他工具戰戰兢兢地運送樣品了。

MX63系統與AL120晶圓自動搬送機結合使用(200毫米型號)

②防護結構殼+電動物鏡轉換器：快速、清潔

顯微鏡所有電動組件都被安裝在防護結構殼內，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護罩、及其他部件均采用防靜電處理，實現了無污染的晶片檢測。而電動物鏡轉換器不僅縮短了檢測間隔時間，還讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

防靜電呼吸罩和電動物鏡轉換器

③內置離合+傾斜觀察鏡筒：高效、舒適

只要利用內置離合和XY旋鈕，就可以實現對載物臺運動的粗調和微調，樣品再大都能實現高效觀察。此外，傾斜觀察鏡筒的擴展范圍可讓操作人員以舒適的姿態坐在顯微鏡前工作。

載物臺手柄和傾斜觀察鏡筒

④系統配置：適合所有晶圓尺寸

該系統可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓托架和玻璃臺板使用。如果生產線上的晶圓尺寸發生變化，可更改載物臺或鏡架。有了MX63系列，各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125毫米和150毫米晶圓。

晶圓托架和玻璃臺板

二、人性化：“有溫度”的人體工學設計

MX63系列不止是一套功能多樣的優質設備，還是一件有溫度的人性化產品。該系列的“貼心”之處充分體現在顯微鏡操作上。想必不少初學者在使用相機時會出現對焦不準、照片模糊、曝光不足等等問題。相比于經驗豐富者傾向于手動調整焦距、光圈、速度，一般人比較喜歡選擇自動功能。同樣使用光學原理制成的顯微鏡有沒有這種自動功能呢?MX63告訴你，也可以輕松做到。針對裸晶片之類低對比度樣品，MX63系列在光程中插入聚焦輔助，可以幫助用戶快速找到焦點。此外，相比于需要手動調整光強度和孔徑的傳統顯微鏡，用戶使用MX63系列時，可以針對不同的倍率和觀察方法設定光強和孔徑條件。需要的時候能夠輕松調用這些預先設定的設置，既能節省時間又可獲得優良的圖像質量，免去了用戶的使用煩惱。集中化顯微鏡操作、手動開關以及快照按鈕等其他人體工學設計，也大大提升了MX63的人性化水平。

多種人體工學設計

三、先進成像技術：精細的光學性能與數碼成像

奧林巴斯以高質量光學器件和先進數碼成像技術的悠久歷史聞名。MX63系列同樣為質量檢驗提供了精細的光學性能和數碼成像技術，充分體現了奧林巴斯的工藝水平。

隨機點樣本和強度分布

物鏡鏡頭的光學性能對于觀察圖像品質和分析結論有著直接影響。MX63的UIS2高倍率物鏡最大限度減小波陣面像差，從而幫助用戶獲取可靠的分析結果。高強度白色LED光源可保持始終如一的色溫，色彩再也不會因為光強的變化而變化，可靠的圖像質量和色彩浮現得以實現。除了圖像生成和分析，后續的測量工作也可以借助Stream軟件的自動校準功能提升可靠性。這款軟件還具備陰影校正功能，可解決圖像角落周邊陰影問題。在配合強度閾值設置使用時，陰影校正可實現更加精確的分析。

四、模塊化：兼容性和靈活性兼備

用戶需求永遠存在差異，個性化的需求能夠用標準化的技術生產體系來滿足嗎?倒不如將生產體系調整為模塊化，生產出模塊化產品來緩解這種矛盾。MX63系列就是一款極具兼容性和靈活性的模塊化產品，讓用戶能夠選擇各種光學器件滿足其特定的檢測和應用需求。用戶還可以從一系列的Stream圖像分析軟件包中進行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。

在兼容性上，無論是MX63系統還是MX63L系統，都具有相同的較小占用空間，可兼容多種樣品規格。在物鏡選擇上，也兼容紅外觀察。5X到100X紅外物鏡可實現從可見光波長到近紅外波長的色差校正。

在靈活性上，用戶完全可以按自己的要求打造獨有的奧林巴斯系統。顯微鏡鏡架、鏡筒、目鏡、載物臺、光源、物鏡轉換器、滑塊、手動控制器、相機適配器、濾光片、分光鏡組件、透射照明單元、中間鏡筒、UIS2物鏡……這些組件均具備多種規格供用戶挑選搭配。MX63系統在模塊化上可以說做到了一種極致。

產品設計

集四大特色于一身的MX63和MX63L工業檢測顯微鏡，以最先進全面的技術和最實用舒適的設計，成為業內同類產品之間的佼佼者。上海西努光學科技有限公司于近幾年獲得了奧林巴斯品質管理資格認可，并開始引進奧林巴斯工業顯微鏡產品。憑借十余年的行業經驗和對用戶需求的精準分析，西努光學推出MX63系列，為用戶提供卓越的光學解決方案，助力電子制造業尤其是半導體產業在我國的升級改造。未來隨著企業技術、資源和服務的提升，相信西努光學將繼續在國內光學產品供應商當中一路領跑，在獲得更多國內外儀器廠商認可的同時獲得用戶的信賴。